国内首台高端LED刻蚀机交付使用

　　近日,由北方微电子开发的EL EDETM330高密度等离子ICP刻蚀机完成组装调试,正式交付客户使用。ELED ETM330是北方微电子半导体刻蚀技术在LED领域的成功扩展,该设备的成功上线,标志着国产LED刻蚀设备已得到主流生产线的认可,使我国高端LED设备的国产化水平得到了新的提升。

　　北方微电子多年来一直致力于半导体高端工艺装备的研发与制造。2009年北方微电子借助半导体刻蚀设备领域积累的丰富经验,开发了专为LED生产领域的刻蚀应用而全新设计的感应耦合高密度等离子体刻蚀机。作为我国首台直接面向LED生产线的大产能刻蚀设备,ELEDE•330可满足蓝宝石衬底图形化刻蚀、Si衬底刻蚀以及GaN基外延层刻蚀等LED领域所有刻蚀应用。ELEDE•330采用了适用于大规模生产的高产能设计,一次可完成27片2英寸GaN基外延层刻蚀或22片2英寸蓝宝石衬底刻蚀,大大提高设备产出效率;系统集成了高密度等离子体源、高寿命机械卡盘、精密的腔室温度控制系统、稳定的高精度压力控制系统、IC标准的中央喷嘴进气系统和IC级别的腔室表面处理等多项先进技术,用IC刻蚀工艺更为精密的设计要求来实现LED领域更高性能的刻蚀工艺,以更大程度地提高LED芯片 的发光效率。

　　虽然有个浓厚的国企背景,但北方微电子正稳步走在市场化的道路上。据介绍,北方微电子IC刻蚀正在进行32nm技术的研发,努力追赶世界的脚步。同时依托多年来技术的积累,北方微电子在PV与LED刻蚀领域积极开发除了市场化的产品,让业界感受到了国际化技术与本土化价格和服务的魅力。