日前,市科委2010年度重大科技攻关项目“MOCVD生产性样机研制”通过验收。这标志着,LED半导体外延片和芯片的核心生产设备MOCVD已基本实现国产化,打破对进口产品的依赖,有助于我国半导体照明产业快速发展。
该项目主要由理想能源设备(上海)有限公司承担。通过2年攻关,现已成功开发出具有自主知识产权的MOCVD反应腔,在多项关键设备技术和工艺技术上取得重要突破。
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