美国科锐(Cree)发布了口径为6英寸(150mm)的SiC底板(英文发布资料)。主要用于LED、高频元件及功率半导体元件。据科锐介绍,目前该公司的SiC底板口径以4英寸(100mm)为主,如果使用6英寸底板的话,生产效率将会由此提高,有助于削减元件的成本。
据了解,6英寸底板量产后,SiC功率元件的普及将会加速。这是因为生产效率提高,有助于削减制造成本,SiC功率元件的价格有望降低。目前,部分厂商正在投产使用4英寸底板制造的SiC二极管。随着6英寸底板的普及,估计从事SiC功率元件业务的厂商也会增多。
另外,科锐表示,6英寸产品的微管(结晶缺陷的一种)密度不超过10个/cm2。
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