科锐发布口径为6英寸的SiC底板

　　美国科锐(Cree)发布了口径为6英寸(150mm)的SiC底板(英文发布资料)。主要用于LED、高频元件及功率半导体元件。据科锐介绍，目前该公司的SiC底板口径以4英寸(100mm)为主，如果使用6英寸底板的话，生产效率将会由此提高，有助于削减元件的成本。

　　据了解，6英寸底板量产后，SiC功率元件的普及将会加速。这是因为生产效率提高，有助于削减制造成本，SiC功率元件的价格有望降低。目前，部分厂商正在投产使用4英寸底板制造的SiC二极管。随着6英寸底板的普及，估计从事SiC功率元件业务的厂商也会增多。

　　另外，科锐表示，6英寸产品的微管(结晶缺陷的一种)密度不超过10个/cm2。