2010年3月19日,德国AIXTRON AG宣布,就在公司宣布推出下一代MOCVD系统(AIX G5 HT和CRIUS ® II)不久,台湾泰谷光电(Tekcore)订购了数套新的AIX G5 HT MOCVD系统,用于扩大HB LED的产量。
目前,AIXTRON已收到下一代设备的诸多订单,对此非常满意。
AIX G5 HT基于业内认可的Planetary Reactor®设计,结合独特的反应室结构,可提供最大的晶片容量(56x2/14x4/8x6〞);并在高压环境中以高速实现最高的生产率及高质量的层结构。此外,设备可全自动操作,具有先进的生产整合力。
该公司市场副总Rainer Beccard博士解释道,AIXTRON承诺为客户展现技术上的领先,通过把新的创新技术用于下一代平台,我们的AIX G5 HT具有新的反应室设计,生产力比之以往的MOCVD设备翻倍。(LEDC MH编译)
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