电子专用设备和仪器“十一五”专项规划解读

经过改革开放近三十年的发展，特别是“十五”以来的快速发展，我国已成为全球最重要的电子信息产品生产基地，产业规模位居世界前列，庞大的加工制造能力无疑为我们加快电子专用设备和仪器产业的发展创造了有利的市场环境。同时，经过多年发展，我国数字控制、精密加工、微电子、通信、新型元器件、新材料、测试测量等相关产业和技术取得长足进步。因此，“十一五”期间，依托国内市场和已有产业基础，通过自主创新，引进、消化吸收再创新等多种方式发展电子专用设备和仪器产业，完全有可能取得突破。

根据党的十七大提出的“振兴装备制造业”和《国务院关于加快振兴装备制造业的若干意见》（国发[2006]8号）精神，以及《信息产业“十一五”规划》的总体部署，结合国内电子专用设备和仪器产业已有的基础和面临的良好发展环境，为进一步促进设备仪器产业的发展，信息产业部在深入调研、广泛论证的基础上，第一次专门编制了《电子专用设备和仪器“十一五”专项规划》，以此作为“十一五”我国电子专用设备和仪器产业发展的指导性文件，为进一步加强和规范行业管理、指导重大工程建设实施提供依据。

为便于行业内外加深对规划理解，更好地贯彻落实规划，现就《专项规划》有关内容说明如下：

电子专用设备是指在研究、开发和生产各种电子信息产品过程中专门用于材料制备、元器件制造加工、整机装调、工艺环境保证、生产过程监控和产品质量控制的设备。主要分为半导体和集成电路生产设备、电子元件和机电组件生产设备、电真空器件生产设备、电子整机装联设备、净化设备、试验设备、电子通用设备和电子专用工模具等。

电子仪器以电子电路技术为基础，融合测试测量技术、计算机技术、通信技术、数字技术、软件技术、总线技术等组成单机或自动测试系统，通过数据采集、存储和处理，对被测信息量进行数据显示或图形显示，根据被测对象的需要输出信息量以进行系统控制。目前国家标准将电子仪器分为25个门类，其中前20类为电子测量仪器，后5类为电子应用仪器。

本着有所为有所不为的原则，为集中力量，实现重点突破，《专项规划》主要涉及半导体和集成电路专用设备、新型显示器件专用设备、电子整机装联设备、新型电子元器件专用设备等4种发展前景较好的设备领域及电子测量仪器。

一、关于“十五”回顾

目前，我国电子专用设备和仪器生产厂家约400多家。“十五”期间，国内电子专用设备和仪器产业发展较快，产业规模不断扩大，部分设备仪器已能满足国内需求，技术创新取得新进展。根据中国电子专用设备工业协会和中国电子仪器行业协会统计，2005年我国电子专用设备和仪器产业分别实现销售收入44.9亿元和77亿元，同比增长14.9%和37.5%。在半导体和集成电路专用设备方面，100nm高密度等离子体刻蚀机、大倾角等离子注入机已初步实现产业化，步进扫描光刻机和一批8英寸生产线设备研发取得重要进展；在新型显示器件专用设备方面，国内企业已能批量生产TN/STN-LCD全套后工序设备、部分TN-STN前工序设备和部分TFT-LCD后工序设备，国产LED后封装设备已占国内市场的20%；在新型电子元器件专用设备方面，丝印、编带等片式元件和部分锂离子电池设备已研制成功，太阳能电池生产设备已基本成套供应并实现出口，软磁铁氧体、硬磁铁氧体等生产线国产设备的市场占有率已达90%，中低档设备已全面取代进口并实现出口，真空开关管设备已成线供应，技术水平达国际先进水平；在电子整机装联设备方面，中低档再流焊机、波峰焊机等已部分供货，用于无铅焊料的波峰焊机和再流焊机的研制也取得较大进展。在电子测量仪器方面，光通信测量仪器技术水平已接近国际先进水平，TD－SCDMA网络检测仪等部分技术含量较高的国产仪器先后研制成功。

尽管“十五”期间我国电子专用设备和仪器产业有了一定的发展，但产业规模小，集中度低，关键基础技术和设备研发制造能力薄弱，引进消化吸收能力不强，具有市场竞争力的企业少，对外依存度高，高层次技术人才缺乏，吸引外商投资和促进国内产业发展的政策环境不完善等制约因素仍有待突破。

二、关于“十一五”面临的形势

《专项规划》从市场需求、技术发展趋势和产业发展面临的环境三个方面，全面客观分析了“十一五”期间我国电子专用设备和仪器产业发展面临的形势。

（一）市场分析

电子专用设备和仪器市场随着行业的波动而变化。2000年以前，全球电子专用设备和仪器市场保持着稳定增长。2001年市场出现大幅下滑，此后稳步回升，2004年基本恢复至2000年水平，市场规模达1350亿美元，占整个电子信息产品市场规模的6.84%。未来几年，随着全球电子信息产业规模的进一步扩大，预计专用设备和仪器市场需求将保持稳定增长，增速将与此前十年基本保持一致，2010年市场规模将达1700亿美元，年均增长3.5%。

近年来，国际IT企业纷纷将生产基地移向中国，我国已成为全球电子信息产品的生产制造基地，由此带动国内电子专用设备和仪器需求大幅增长。与全球电子专用设备和仪器市场规模波动起伏相反，中国市场始终保持高速增长，2005年市场规模达1100亿元。“十一五”期间，随着国内电子信息产业规模进一步扩大，设备和仪器更新换代加快，电子专用设备和仪器市场规模将继续保持较快增长，预计“十一五”期间国内电子专用设备和仪器市场规模增速将达15～20%，2010年市场规模为2000-2500亿元，专用设备和仪器产业发展面临着良好的市场前景。

（二）技术趋势

电子专用设备和仪器融合了软件、精密电子、机械、化学、化工、物理、材料、自控、光电、元器件等多学科技术，是基础研究和应用研究融合发展的产物，是国家科学技术水平和自主创新能力的集中体现，其技术和产品更新速度明显高于其他产业。一方面，电子专用设备和仪器要为电子信息产品制造和测试提供更先进、高效的技术手段；另一方面，数字化、高精度、集成化、智能化等已成为电子专用设备和仪器发展的必然趋势，其自身需要不断加强升级换代。

电子专用设备技术方面，为夺取市场竞争的制高点，缩短产品推出周期、满足新产品和新工艺技术需要，行业发展对装备制造商的要求越来越高，电子专用设备与产品制造工艺、软件开发的结合越来越密切，装备制造商不仅要向客户提供硬件设备，还要不断向提供全面解决方案和全方位服务的方向拓展。在半导体和集成电路专用装备领域，芯片制造业要求设备满足12英寸及以上大直径、细线宽、超薄膜等工艺需求，设备趋向于集成化和生产线自动化，设备制造与半导体集成电路工艺越来越密不可分，不断追求全面解决方案、全方位服务；在新型电子元器件设备领域，电子元器件在保持微型化的同时，向组件化、模块化、多功能化、无源/有源元器件集成化发展，新型片式元器件专用设备必然要不断满足其生产工艺发展要求，以先进的精密制造技术和高自动化技术为依托，向系统化、集成化、智能化、敏捷化、绿色化方向发展；在TFT-LCD和PDP等平板显示器件专用设备领域，为提高原材料的利用率，降低生产成本，生产设备趋向于加工尺寸增大，精细度、集成度、自动化程度、产品与工艺结合程度不断提高；在LED专用设备领域，设备生产效率和自动化程度越来越高，在线检测装置越来越多；在SMT专用设备领域，随着整机向微型化、集成化、多功能的方向发展，电子元器件也朝着微型化、集成化、多功能的方向发展，推动着SMT设备向多功能、柔性化的集成系统发展，同时，随着全球无铅化的要求越来越紧迫，无铅波峰焊机、无铅再流焊机、无铅AOI设备逐渐成为发展主流，预计“十一五”末电子整机装联设备将全面实现无铅化。

电子测量仪器技术方面，随着用户对测试自动化、网络化、高效率、高可靠性、界面友善等的不断追求，电子测试技术与通信、计算机技术互相融合的趋势越来越明显，软件技术在电子测试技术中所占比重越来越重。随着整机技术标准化水平的提升，整机测试仪器进一步向功能模块化、集成化方向发展。新型数字消费类电子产品的不断涌现，使得数字测试仪器和通用测试仪器不断向高速和实时化方向演进；随着新型元器件和新材料的不断问世，超高频、大功率、低噪声集成电路的深入应用，电子测量仪器的测试性能迅速提高，影响测量精度的不确定度越来越小，测量不断接近其物理极限——真值。

（三）产业发展面临的环境

当前，信息产业已成为我国国民经济第一大支柱产业，形成了较完善的产业链，但总体上仍处于国际分工的中低端，尤其是以软件、集成电路、电子专用设备和仪器为代表的核心基础产业与发达国家存在着很大差距。要实现电子信息产业向创新效益型转变，真正走上自主发展的道路，要求我们在“十一五”期间必须加快发展电子专用设备和仪器产业。随着我国国民经济的发展，工业基础的增强，海外技术资源的增多，到“十一五”末，提高国产设备的配套能力，部分关键设备接近国际先进水平是完全有可能的。

“十一五”期间，随着国内信息产业的快速发展，信息化建设的务实推进，数字电视、新一代移动通信、下一代互联网产业化进程不断加快，市场应用日趋成熟，集成电路和新型显示器件生产规模的进一步扩大和生产工艺的更新换代，为国内电子专用设备和仪器产业发展创造了广阔的市场空间。

党的十七大报告明确提出要“振兴装备制造业”，国务院颁布的《国务院关于加快振兴装备制造业的若干意见》和《信息产业“十一五”规划》都将电子专用设备和仪器产业作为发展重点，《2006-2020年国家信息化发展战略》把关键工艺装备列为我国信息化发展的重点之一，《国家中长期科技规划》把极大规模集成电路制造装备及成套工艺列为国家科技重大专项，这些措施表明了国家发展电子专用设备和仪器产业的决心，也从政策上为电子专用设备和仪器产业发展创造了有利条件。

三、关于发展思路与目标

根据对电子专用设备和仪器产业现有基础的总结，对“十一五”期间市场需求、技术发展趋势、面临的发展环境等分析，《专项规划》提出了以下发展思路与目标。

（一）发展思路

《专项规划》提出通过加大国际合作，加强共性基础技术研究，突破关键技术，缩小与国际先进水平的差距的核心思路。出发点集中在三个方面：首先，我国电子专用设备和仪器产业技术基础薄弱，自主创新能力不足，与国际先进水平存在明显差距的现状，决定了我国在发展该行业的过程中必须注重加大国际合作，通过引进消化吸收和合作开发来提升产业技术水平，培养一批高素质的人才。其次，作为融合众多学科的综合性产业，电子专用设备和仪器制造业基础性强，关联度高，要加快产业发展，必须加强共性基础技术研究，不断加大投入力度。第三，要本着“有所为，有所不为”的原则，抓住一些国内产业基础相对好、市场需求大的领域，集中力量，力争掌握部分关键技术，拥有部分自主知识产权，不断缩小与国际先进技术水平的差距。

《专项规划》提出以新兴产业发展为契机带动电子专用设备和仪器产业发展。数字电视、新一代移动通信和下一代互联网等新兴产业，具有良好的技术基础和广阔的市场前景，当前正处在产品和技术更新换代、蓬勃发展的关键时期，新的生产工艺和技术要求为专用设备和仪器的发展创造了新的发展契机。把握机遇，将数字电视、新一代移动通信和下一代互联网等技术开发、产业化、标准化工作与相应的专用设备和仪器的研制有机结合，推动产用结合，完全有可能实现关键领域的突破，这在TD-SCDMA产业化工作中已经得到了很好的验证。

《专项规划》强调大力发展具有战略意义的技术装备，鼓励发展量大面广的专用设备和仪器。集成电路、平板显示器件等是体现电子信息产业未来发展水平的战略性产业，我国发展该类产业还面临国际先行国家在技术、设备和元器件采购等方面的限制，将与其相关的电子专用设备和仪器产业作为发展重点，意在加强政策引导，加大投入力度，营造更有利于产业发展的环境，以电子专用设备和仪器产业的繁荣发展，促进战略性产业的突破。新型电子元器件专用设备、表面贴装和支持无铅工艺的整机装联设备，及电子测量仪器，是电子元器件和整机研发和制造的基础与核心，在我国信息产业快速发展的今天，市场前景也非常广阔，我国应在已有产业基础上，加强引导，不断加大投入，提升产品层次和竞争力，力争实现部分产品能够满足国内市场需要，并逐步替代进口。

（二）发展目标

根据产业发展思路，在综合分析国内外市场需求、技术发展等因素的基础上，《专项规划》从产业发展和技术创新两方面阐述了电子专用设备和仪器行业发展的目标。

产业发展目标。《专项规划》对电子专用设备和仪器分别提出了增长目标和国内市场占有率目标。“十五”期间，我国电子专用设备产业规模的年均复合增长率约为17%，考虑到“十一五”国内电子信息产业规模将进一步扩大，《专项规划》提出了电子专用设备产业规模将保持年均25%增长速度的发展目标。相对于设备，电子测量仪器的更新换代率相对较低，《专项规划》提出了“十一五”期间国内电子测量仪器产业规模将年均增长20%的发展目标。目前，国产电子专用设备和仪器的市场占有率尚不足10%，随着国家产业政策的出台和落实、重大设备仪器关键技术陆续突破、国产设备和仪器低成本优势的发挥，预计“十一五”期间国内电子专用设备和仪器产业将呈现快速发展态势，到2010年国产设备和仪器的国内市场占有率有望突破20%。

技术创新目标。基于我国电子专用设备和仪器产业的发展现状，《专项规划》对集成电路、平板显示器件等战略性领域的生产设备和电子测量仪器提出了技术创新目标。在半导体和集成电路专用设备方面，经过长期努力，我国在光刻机、刻蚀机、离子注入机等关键设备领域已具备一定的研发基础，通过国家产业政策的落实、重大专项的扶持和国有相关单位的共同努力，到2010年实现12英寸部分生产设备上线使用，8英寸后端生产设备基本满足国内市场需求是可能的。在平板显示器件专用设备领域，前端设备生产工艺复杂、技术难度大，国内产业基础薄弱。但在后端设备方面，中国电子科技集团第2、45研究所、七星华创等企业已能够提供部分TFT-LCD后工序设备和TN/STN-LCD后工序的全套系统集成解决方案，在此基础上，通过国家平板显示器件专项的扶持，鼓励平板显示器件产业发展政策的制定落实，到2010年平板显示器件后端设备将基本能够立足国内。在电子测量仪器领域，由于现有产业规模小，相关技术和产业支撑能力弱，人才缺乏，投入不足，缺乏核心技术和自主知识产权，因此，《专项规划》提出“初步掌握部分核心技术”的技术创新目标。
　　
四、关于重点任务

（一）电子专用设备

——半导体和集成电路专用设备

半导体和集成电路专用设备是指制造各种半导体器件和集成电路的专用设备，包括晶片制备、掩膜版制备、芯片制造、封装测试、在线工艺检测、超净等设备和专用工模具，是电子专用设备中技术含量和价值最高、应用面最广的一个门类，其关键设备涉及的专业学科广泛，具有很高的制造难度。半导体和集成电路专用设备在电子专用设备中占据重要位置，其销售额约占电子专用设备总销售额的20%。

我国政府和产业界十分重视半导体和集成电路专用设备的发展，通过国家专项扶持、营造环境吸引海外人才投资创业、不断完善产业发展环境，现已涌现出中国电子科技集团第45、48研究所，七星华创，无锡尚德等一批拥有一定实力和发展潜力的骨干企业，在前后工序生产设备、材料制备设备、检测设备等方面已具备一定的产业和技术基础。结合集成电路产业“十一五”规划“重点发展12英寸集成电路生产线，建设5条以上12英寸、90纳米的芯片生产线；建设10条8英寸0.13～0.11微米芯片生产线”的发展重点，《专业规划》提出要重点发展8-12英寸集成电路关键生产设备，如光刻设备、刻蚀设备等芯片制造设备，键合设备、划片机等封装设备和专用模具等。同时，考虑到化合物半导体具有独特的技术优势和应用领域，是新型半导体器件的重要材料，《专项规划》提出要积极跟踪化合物半导体技术，加快化合物半导体（GaAs、InP、GaN、SiC等）制造设备的研发和产业化。

——新型显示器件专用设备

新型显示器件专用设备主要指平板显示器件（FPD）生产设备，FPD主要包括LCD（液晶显示器件）、LED（发光二极管）、PDP（等离子体显示器件）、OLED（有机电致发光二极管）、VFD（真空荧光显示器件）和FED（场致发射显示器件）等。

根据信息产业“十一五”规划、电子基础材料和关键元器件“十一五”专项规划“大力发展自主TFT-LCD、PDP等新型平板显示器件产业”，“到2010年，建立较为完备的新型显示器件生产体系，产业链基本齐全，新型显示器件产业规模达到2500亿元，有较强的国际竞争力”的要求，考虑到至“十一五”末预计全球TFT-LCD、PDP等平板显示器件市场需求将超过1000亿美元，《专项规划》提出“十一五”期间首先要重点突破市场潜力大的TFT-LCD生产设备，积极开展面板生产线阵列和成盒等前道工艺设备的研究开发，重点提高湿/干法刻蚀机、液晶灌注机等研制水平，形成TFT-LCD移载、清洗等设备的配套能力。由于平板显示技术目前处于百花齐放的竞争格局，《专项规划》提出在发展TFT-LCD设备的同时，也要加强高亮度LED、PDP和OLED等其他新型平板显示器件关键生产设备的开发生产，为我国发展下一代平板显示技术和产品提供支撑。

——电子整机装联设备

电子整机装联设备包括表面贴装(SMT)设备、通孔插装(THT)设备、焊接设备、清洗设备、整机装配线、生产传输线、零件加工整形设备等。

随着全球电子信息产品整机制造业向我国转移产能，消费电子、计算机及外设、通信系统与终端产品等电子整机产品生产对全自动精密贴片机、精密印刷机、插装机、自动光学检测设备（AOI）等电子整机装联设备的需求增长迅速。为此，我们要进一步加大对该类设备的研发投入，积极推动产业化，不断扩大市场占有率。同时，随着国内外对环境保护的要求日益严格，欧盟已于2006年开始实施《关于在电子电气设备中限制使用某种危险物的指令》(ROHS指令)，为满足产业对设备无铅化的要求，我们应高度重视，大力支持适应无铅工艺的表面贴装设备的研发和产业化。

——新型电子元器件专用设备

新型电子元器件专用设备主要包括表面贴装元器件(SMC/SMD)、敏感元器件、传感器、高频频率器件、绿色电源等生产设备。

“十一五”期间，电子整机产品的更新换代对电子元器件和材料的需求进一步增长，也对电子元器件和材料行业的发展提出了更高要求。预计到2010年，国内电子元器件市场规模将达2.9万亿元，新型元器件将向微型化、片式化、高性能化、集成化、智能化、环保节能方向发展。微小型和片式化技术、无源集成技术、绿色化生产技术等已成为行业技术进步的重点，微电子机械系统(MEMS)和微组装技术正的高速发展。为此，《专项规划》提出要重点发展片式元器件、新型绿色电池、新型印刷线路板等量大面广的新型元器件生产设备，高频频率器件生产设备、MEMS生产设备及电子专用工模具和高精度模具等，为电子元器件产业的快速发展提供必需的装备支撑。

（二）电子测量仪器

电子测量仪器主要包括通用测量仪器、电子基础测量仪器和集成电路、通信、广播电视、应用电子等专业测量仪器。

根据行业“十一五”规划发展，结合国内集成电路、新型显示器件、新型电子元器件等核心基础产业的快速发展，新一代移动通信产业的蓬勃兴起，广播电视数字化进程不断加快，《专项规划》提出要加快发展集成电路测量仪器，新型显示器件、新型电子元器件等电子基础测量仪器，以及新一代移动通信、数字电视等测量仪器。同时，为满足行业不断发展的需要，为产业共性和基础性技术研究提供支撑，要积极发展高性能通用测量仪器。

五、关于政策措施

为保障“十一五”期间我国电子专用设备和仪器产业发展目标的顺利实现，《专项规划》从营造良好的政策环境、加大资金扶持力度、积极引进外商投资和加大国际合作等方面提出了政策建议。具体措施包括：要积极落实《国务院关于加快振兴装备制造业的若干意见》、《国务院关于实施lt;国家中长期科学和技术发展规划纲要gt;若干配套政策》等现有产业政策，适时修订《产业结构调整指导目录》，通过加大国家资金投入、税收激励、金融支持、政府采购优先、鼓励引进消化吸收再创新等手段，进一步营造良好的政策环境，促进产业发展。同时，要通过修订《外商投资产业指导目录》，调整关税政策等措施，为国际优势企业来我国投资创造有利环境，不断加大国际合作，逐步提升产业技术水平和竞争能力。