台积电预定6年后推动18吋晶圆厂量产,已钦点汉微科、汉辰、力鼎、沛鑫、中砂、中德、家登、辛耘、盟立等多家台湾半导体设备及材料厂投入相关设备研发,成为台积电18吋晶圆厂的重要合作伙伴。
台积电营运暨12吋厂副总经理王建光昨(4)日表示,18吋晶圆厂由于投资设备极为昂贵,台积电有幸成为全球少数能参与的厂商之一,这个全新的晶圆厂世代,也是台湾设备厂能够参与的好机会。
王建光鼓励台湾半导体设备厂应主动参与18吋晶圆厂相关设备标准、设计的认证,台积电也乐见有台湾半导体设备及材料商加入18吋晶圆厂供应链的行列。
王建光透露,初期已选定多家厂商,成为台积电设备及材料供应链的主要合作伙伴,其中包括从事离子植入机的汉辰、电子束检测设备厂汉微科、光阻设备厂辛耘、PVD及3D IC封装设备的力鼎。
还有从事机设计的沛鑫半导体、提供晶圆再生及钻石硬盘的中砂、晶圆盒自动化的家登、自动化设备的盟立、18吋晶圆长晶及切片的中德材料和提供研磨液的陶氏化学及Cobot等厂商。
至于半导体前段关键设备,多半仍是国外半导体设备大厂,包括美商应材、日本东京威力及最近台积电才入股的艾司摩尔(ASML)等。
王建光强调,国内半导体设备厂可多藉用全球业者组成联盟的平台,设法取得认证,台积电也可扮演推荐角色,协助台湾半导体设备厂切入18吋晶圆设备供应链取得商机。
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